光ディスク用スパッタリングターゲット

概要

 ブルーレイディスク(Blu-ray Disc)やDVDなどの光ディスクの反射膜、半透明膜の成膜として欠くことができないAg合金とAl合金のスパッタリングターゲットをご提供いたします。
 GBDシリーズとGDシリーズは、当社オリジナルのAg合金であり、高い反射率と優れた耐久性を備えております。
 BALシリーズも、当社オリジナルの合金であり、優れた表面平滑性を備えております。

光ディスク用ターゲット

















 製品  特徴  BD-ROM BD-R BD-R
R SR R SR R SR
Ag合金   GBDシリーズ 高反射率、低吸収率
高耐久性
GDシリーズ 優れた表面平滑性
高耐熱性
Al合金  BALシリーズ 優れた表面平滑性

※R:反射膜 SR:半透明膜

  ○は各シリーズの好ましい用途を示しております。



加速環境試験後の各薄膜表面のSEM像

 純Ag薄膜 GBDシリーズの薄膜  GDシリーズの薄膜  BALシリーズの薄膜 

加速環境試験後の各薄膜表面のAEM像

純Ag薄膜 GBDシリーズの薄膜 GDシリーズの薄膜  BALシリーズの薄膜
※これらは実験結果の一例であり、性能を保証するものではいということをご理解ください。

豆知識

ブルーレイディスク、DVDとAg合金スパッタリングターゲット

2層ブルーレイディスクの構造

ブルーレイディスクは、DVDと比較し約5倍のデータ容量があり、フルハイビジョン映像にも対応しています。規格によってディスクの構造やデータの記録方式が異なるものの、データの再生は、ディスクに照射されたレーザー光の反射率変化を信号化することでおこなわれます。このため、反射膜材料としては、反射率が高く、経時劣化の少ないものが必要とされます。反射膜は、100ナノメートルと薄いため、薄膜蒸着の一手法であるスパッタリング法が用いられています。

アドバンストアロイとは、コベルコ科研が提案する新しい合金の登録商標です。

このページの先頭へ