フラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲット

概要

液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレイの配線材料や反射膜材料として欠くことができない各種スパッタリングターゲットをご提供致します。



液晶ディスプレイ(LCD)

当社Al合金スパッタリングターゲットは、ゲート、ソース・ドレイン配線向けに豊富な採用実績があり、その他、Cu/Cu合金やTiターゲット、LTPS向け材料等も取り扱っています。



タッチパネル

高性能な静電容量方式のタッチパネル向け配線として、当社Al-Nd合金は、広く採用されています。

フラットパネルディスプレイ用ターゲット


有機ELディスプレイ(OLED)

反射電極向けに、各種Al合金、Ag合金を提案しています。









適用アプリケーションと要求特性 配線膜 反射膜  キャップ/下地膜  半導体膜 
液晶ディスプレイ( LCD) 要求特性  低電気抵抗率、高耐熱性 高反射率 高耐熱性  高移動度、高信頼性 
 a-Si TFT Al合金(Al-NdDC-Al) Al合金(Al-NdDC-Al) Cu、Cu合金、Ti -
 LTPS TFT Al合金(Al-NdDC-AlSA-HT) Al合金(Al-NdDC-Al) Ti -
 Oxide TFT Al合金(Al-NdDC-Al) Al合金(Al-NdDC-Al) Cu、Cu合金、Ti KOS-B01(IGZ0)
KOS-B02
KOH-Hシリーズ
 タッチパネル  要求特性 低電気抵抗率、密着性 -
 静電容量方式 Al合金(Al-Nd)
Cu、Cu合金
Ag合金
- - -
有機ELディスプレイ(OLED)  要求特性 低電気抵抗率、高耐熱性 高反射率、表面平滑性 -
 トップエミッション Al合金(Al-NdDC-Al) Ag合金、Al合金(DC-Al) - -
 ボトムエミッション Ag合金 Ag合金 - -

豆知識

液晶ディスプレイとAl合金スパッタリングターゲット

液晶画面の拡大図

液晶ディスプレイは、ノートおよびデスクトップパソコンの表示装置や液晶テレビに使用されています。

画面は、赤・青・緑などの微細な画素で構成されており、その画素ひとつひとつの色の強弱をコントロールするために、トランジスタ素子が画素毎に配置され、その数は1枚の画面で数百万個にも達します。各トランジスタには、電気を供給する必要があり、金属配線が用いられますが、主に使用されているのがAl系の配線材料です。

また、携帯電話の液晶ディスプレイでは、省電力化のために、外光を反射するための機構を備えたものがあり、反射膜にAl合金が使用されます。配線・反射膜共にサブミクロン厚さのため、薄膜蒸着の一手法であるスパッタリング法が用いられています。

アドバンストアロイとは、コベルコ科研が提案する新しい合金の登録商標です。

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