ダイレクトコンタクト対応AI合金(Direct Contact Aluminum alloy:DC-Al)

ダイレクトコンタクト(DC)対応合金は、従来ITOやIZOなどの透明電極膜と直接積層することが困難であった配線材料において、MoやCrなどの材料を間に挟むことなしに直接積層することが可能で、材料のコスト低減だけでなく、省設・省工程が可能であり、実用化が拡大しています。

本材料は、アモルファスシリコンTFT液晶ディスプレイだけでなく、LTPS液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ、タッチパネル用途などへも適用されています。

ダイレクトコンタクト(DC)合金と従来材適用時の液晶パネル用アレイ基板の断面比較

DC合金適用時の構成例と従来材適用時の構成例

DC合金適用時には、配線構造が単層となるため、生産設備のコストが抑えられます。
また、成膜時間の短縮が可能で、さらに、配線加工の制御が容易になります。

ダイレクトコンタクト(DC)合金と従来材適用時のスパッタ装置のチャンバー構成比較

DC合金適用時スパッタ装置のチャンバー構成例と従来材適用時すスパッタ装置のチャンバー構成例

従来材適用時には、2~3層を積層する必要があるため、ターゲットが複数種類必要になりますが、DC合金を適用する場合は、1種類のターゲットだけでスパッタ装置を構成できます。
また、単層成膜で良いため、時間当たりの成膜枚数が増加します。

ダイレクトコンタクト(DC)合金シリーズ

DC モニタ用途などのアルミ合金配線材料
アドバンストDC 大型TV用低抵抗アルミ合金配線材料
LTPS DC 低温ポリシリコンTFT用アルミ合金配線材料
Cu-DC 単層配線可能な銅合金配線材料
アドバンストアロイとは、コベルコ科研が提案する新しい合金の登録商標です。

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